垂直磁控濺射系列

                            垂直濺射配置可以最小化顆粒污染,適合靶材產生高顆粒的工藝開發及任何生產環境。

                            具有高產能、高均勻性及工藝靈活性。 

                            應用于航天、微電子、傳感器、汽車、光學及能源等領域。