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共焦磁控濺射系列
垂直磁控濺射系統
水平磁控濺射系統
In-line濺射系列
Cluster磁控濺射系列
蒸發系統
蒸發系列
工藝多功能性,具備多種選件以擴展相應能力
,
非常適合研發和生產。
設備可安裝在潔凈室內,如有灰區也可穿墻安裝。
應用于航天、微電子、傳感器、汽車、光學及能源領域的鍍膜工藝。
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